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            真空漏孔-定量氣體動態比擬法

            閱讀:267次    日期:2019-04-03 05:59:09
             
            定量氣體動態比擬法
                從被校真空漏孔流出的氣體在體積V內積攢一段工夫后,會構成一個分壓力,用質譜計將此分壓力與規范分壓力繼續比擬,而后可失去真空漏孔的漏率。規范分壓力可用動態收縮法或從已知漏率的漏孔流出氣體累積而失去。
                美國SNL用動態收縮法失掉規范分壓力,如圖7所示。在小容器V.內充入壓力為Pt的校準氣體(深淺為C)收縮到大容器V中作為規范壓力。歷次校正點,用小容器V.從大容器V中取樣,而后動態收縮到Vm中,由質譜計測量其分壓力信號Hs;再將被校參考漏孔通過工夫△t后在體積V.x。二中累積的氣體動態收縮到Vm中,由質譜計測量其分壓力信號Hx。最初用下式劃算被校參考漏孔的漏率QL
             
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